对电子系统(整机、部件、元件、工艺、材料等)进行综合微小型化设计和研究的学科。主要研究利用固体内部的微观特性以及一些特殊工艺，在固体的一个微小体积中制成具有一种或多种功能的完整的电路或部件。其研究成果使得电子设备和系统在微小型化、高可靠性和低成本方面成为可能。